木下 陽平
住友重機械工業株式会社 / 精密機器事業部 技術部 クライオポンプGr.
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住友重機械工業株式会社 / 精密機器事業部 技術部 クライオポンプGr.
・半導体製造装置向けクライオポンプの新規要素開発、カスタマイズ設計対応、客先不具合対応 ・評価及び対策検討 実機による性能確認試験(ポンプ稼働時間、排気速度、吸蔵量)、温度分布の測定
・研究テーマ 多数の散乱体を有する弾性平板における曲げ波の透過特性 Multiple scattering of flexural waves on Mindlin plates with circular scatterers